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GB/T34177-2017光刻用石英玻璃晶圓.pdf

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2018-11-21
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建筑標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
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資料簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光刻用石英玻瑞晶圓（以下簡稱石英玻瑞晶圓）的術(shù)語和定義、分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存．本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路、光通訊、徽機(jī)電系統(tǒng)（ MEMs ）、光電器件和發(fā)光二極管（ LED ）等光刻工藝中用做襯底的石英玻瑞晶圓。
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